Производитель высокотехнологичных оптических компонентов столкнулся с проблемой производительности на этапе экспонирования и закалки при изготовлении микролинз на уровне пластины.

• Несоответствие освещенности:Традиционные УФ-лампы не смогли обеспечить равномерное распределение света на больших поверхностях подложки. Низкая интенсивность освещения по краям привела к неполной полимеризации и высокому проценту бракования продукта.

• Тепловое расширение:Чрезмерное инфракрасное тепло деформирует хрупкие субмикронные структуры линз в процессе фотолитографии и отверждения.

Вместо традиционных ртутных лампочек или методов дозирования мы применилиВысокоравномерная система отверждения наводнений с помощью УФ-светодиодовспециально разработан для оптической обработки полупроводникового уровня:

• Воздействие смолы с центрифугированным покрытием:Система обеспечивает заливающее воздействие на всю поверхность непосредственно на слой фоторезиста/УФ-смолы с центрифугированием через фотомаску.

• Усовершенствованная оптическая конструкция:Специально разработанные линзы оптимизируют распределение света, обеспечивая лучший в отрасли результат.однородность излучения в пределах ±3%по всей площади отверждения.

• Истинный источник холодного света:Работая с точнымУзкополосный спектр 365 нмСистема устраняет инфракрасное излучение, сохраняя подложку при комнатной температуре для защиты микроструктур от термической деформации.

• Безупречная консистенция продукта:Уровень брака, вызванный недостатками обработки кромок, снизился доноль, благодаря ультраравномерному полю УФ-излучения.

• Субмикронная структурная целостность:Устранение термического напряжения обеспечило идеальную стабильность размеров высокоточных линз Френеля.

• Повышение эффективности производства:Возможность мгновенного включения/выключения УФ-светодиодов сокращает время прогрева, увеличивая производительность для крупносерийных полупроводниковых линий.

[Свяжитесь с нашими инженерами по применению, чтобы получить индивидуальное решение для УФ-светодиодов.Шэньчжэньская компания Super- Curing Opto-Electronic CO., Ltd.】