В полупроводниковом производстве точность и скорость производства - это все.Ведущий завод по сборке и упаковке микроэлектроники испытывал проблемы с микрокрекингом и мухами во время процесса нарезки пластинокВиновником была устаревшая система ртутного ультрафиолета, которая обеспечивала неравномерное отверждение и чрезмерное тепловое напряжение на ультратонкие ультрафиолетовые ленты.

Они сотрудничали с нами, чтобы интегрировать наше современное оборудованиеУльтрафиолетовая светодиодная отвердительная система полупроводникового классаУлучшение привело к99.98% уровень отдачи от обрезки пластин, нулевая тепловая деформация на тонких пластинах и значительное сокращение времени цикла.

Заказчик обрабатывает 8-дюймовые и 12-дюймовые кремниевые пластины до толщины менее 100 мкм. Во время процесса нарезки пластины (пилания/невидимого нарезки)Ультрафиолетовая лентапосле разделки ленту подвергают точному ультрафиолетовому свету, чтобы уменьшить ее сцепление,позволяет подбирать деликатные штампы чисто, без остатков клея или повреждений конструкции.

Традиционная установка ртутных ламп создала критические барьеры:

• Высокое тепловое излучение:Ртутные лампочки генерировали интенсивную инфракрасную (ИК) теплоту, в результате чего тонкие пластины изгибались, а УФ-лента преждевременно разрушалась или таялась.

• Неравномерное излучение:Неравномерное распределение УФ означало, что некоторые участки ленты оставались высококлеящимися, что привело к трещинам или "взрыву" во время автоматической фазы подбора и размещения.

• Частая замена лампочки:Стандартные ртутные лампочки быстро распадаются, вызывая нестабильную ультрафиолетовую дозировку, которая требовала постоянной перекалибровки и отключения производства.

Чтобы удовлетворить строгие ограничения загрязнения и температуры в чистом помещении класса 100, наша инженерная команда развернула наш пользовательскийВодоохлаждаемая полупроводниковая система ультрафиолетового светодиодного отверждения (длина волны 365 нм, регулируемая интенсивность до 15 Вт/см2).

[Установка пластинки на УФ-ленту]    [Прецизионная резьба/пила]    [Мгновенное холодное воздействие УФ-диодных ламп (365 нм) ]     [Чистый, безотходный подборщик]

Наша специализированная полупроводниковая УФ-ЛЕД система обеспечила немедленные технические улучшения:

• • Подлинное холодное отверждение (температура субстрата < 30°C):Полностью устраняя инфракрасные длины волн, наша УФ-ЛЕД-система защищает самые тонкие кремниевые архитектуры и температурно-чувствительные рамки пластин от тепловых искажений.

  • Безупречная оптическая однородность:Используя специально разработанную кварцевую оптику, система обеспечивает > 95% однородное УФ-поле на всей 12-дюймовой области воздействия.Это обеспечивает совершенно последовательное сокращение адгезии на каждом изображении на ленте.

  • Жидкое охлаждение, соответствующее требованиям чистого помещения:Полностью герметичная конструкция, охлаждаемая водой, предотвращает турбулентность воздуха и образование частиц, что делает ее полностью совместимой со строгими стандартами чистых помещений.

Переход к нашей промышленной системе ультрафиолетового лечения с светодиодными лампами переоценил эффективность монтажа клиентов:

• 99.98% Урожайность:Чистый подборки достиг нулевого остатка клея и исключил механическое микро-крекинг во всех производственных партиях.

• Мгновенная обработка и более высокая производительность:Система обеспечивает полную дозу УФ мгновенно, сокращая время цикла облучения лентой на45%.

• Непревзойденная стабильность и долголетие:Продолжительность жизни более20,000 часов, система UV LED обеспечивает одинаковую УФ-интенсивность месяц за месяцем, исключая непредсказуемые падения урожайности.

Отзывы директора завода: "Усовершенствование на промышленную УФ-ЛЕД-систему решило наши давние проблемы с деформацией пластин.и время простоя технического обслуживания фактически снизилось до нуля. "

Усилить свою сборочную линию полупроводников

Хотите ли вы избежать микрокрекинга, обеспечить точное освобождение УФ-ленты и защитить хрупкие пластины от теплового стресса?Наша инженерная команда разрабатывает индивидуальные высокоравномерные УФ-ЛЕД-решения, настроенные для ваших спецификаций чистых комнат и линий автоматизации.

• [Изучите наши полупроводниковые и вафельные ультрафиолетовые светодиодные решения]